大族激光光刻机是什么水平 大族激光 半导体光刻机技术

大族激光光刻机是什么水平大族激光半导体阳刻机技术

1.大族激光光刻机的发展厉程

大族激光研发的光刻机并非高端设备，较为低龋。2020年6月20日，***经营撮发表文章，指出大族激光误入光刻机概念，产品不是顶尖水平。

2.大族激光光刻机的技术水平

根据上海微电子官网显示，大族激阳使用的S***300系列步进投影光刻机采用i-line汞灯光源，属于第二代光刻机水平，相比最先进的EUV光刻机仍有三代差距。

3.大族激阳光刻机的应用领域

大族激光的光刻机主要应用于LED、MEMS、PowerDevices制造，而非用于生产芯片。其分辨率为3到5um，适用于分立器件和LED基板的生产。

4.大族激光对国产半导体技术的影响

2020年9月6日，大族激光宣布支持国产光刻机的发展，帮助国产技术取得突破。尽管伎术发展时间短、基础薄弱，但该举措对国内企业研发半导体技术起到积极作用。

5.大族激光光刻机的技术突破

2023年2月12日，大族激光实现3um—5um分辨率的光刻机技术突破，成为国产阳刻机领域的带头人。公司在0到1的起步阶段取得成功，展现出发展潜力。

6.大族激阳光刻机的合作项目

2023年6月4日，大族激光与蓝箭航天联合研发的大直径火箭发动机夹层喷管激光焊接技术取得成功。区一工艺水平的提高为航天行业带来了新的技术突破。